
日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 一、產品簡介
CFB-3600渦輪分子泵的葉輪采用變截面葉齒,增強了葉片強度、減輕了轉子重量,縮短了啟動時間,降低了機械損耗,增加了使用壽命。
日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 二、壓縮比曲線和抽數曲圖
日本ULVAC CFB-3600(LF)渦輪分子泵 三、主要性能指標
型號  | CFB-3600  | |
進氣口法蘭  | —  | 
  | 
排氣口法蘭  | —  | LF100  | 
抽氣速率  | L/s  | 3600  | 
壓縮比N2/H2  | —  | 1×108/5×102  | 
極限壓強  | Pa  | 2×10-6  | 
電機轉速  | rpm  | 12600  | 
啟動時間  | min  | <10  | 
停機時間  | min  | <20  | 
振動值  | μm  | ≤0.15  | 
前極泵  | L/s  | 30-70  | 
冷卻水溫度  | ℃  | ≤25  | 
泵體烘烤溫度  | ℃  | <120  | 
冷卻水流量  | L/min  | 1  | 
安裝方向  | —  | 垂直±5°  | 
重量  | kg  | ~100  |