
日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 一、特性
• 雙繞式渦旋泵,含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大氣壓下實現操作運行。
• 可實現高極限真空。
• 低振動低噪音。
• 維護周期可通過計時表控制。
日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 二、應用
• 分析設備
• 氣體回收系統
• 涂料設備
• TMP 前級泵
• 氦滲漏探測器
• 半導體制造工藝
日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 三、規格參數
  | 單位  | 50Hz  | 60Hz  | |
實際抽速  | L/min  | 500  | 600  | |
極限壓力  | Pa  | 1.0  | ||
馬達  | 單相  | 
  | 100/115/200/230V, 600W, 4P, 電容啟動運行  | |
  | 三相  | 
  | 200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P  | |
滿載電流  | 單相  | A  | 8.5/4.3/3.9  | 2.7/1.57/1.57/1.63  | 
  | 三相  | 
  | 10.0/8.6/4.8/4.0  | 2.8/2.5/2.5/1.47  | 
重量  | 單相  | kg  | 44.0  | |
  | 三相  | 
  | 38.0  | |
進出氣管道直徑  | 
  | 進氣管KF-40 出氣管 KF-25  | ||
環境溫度  | °C  | 5 – 40  | ||
水蒸氣處理  | g/天  | ≤25 (A.F. 開啟)  | ||
尺寸  | 單相  | mm  | 290(W) × 443(L) × 397(H)  | |
  | 三相  | 
  | 290(W) × 372(L) × 397(H)  | |
四、外形圖
五、泵數曲線
六、對應電壓與認證
電壓  | 現行電壓  | CE 認證  | CSA 認證  | 
單相, 100V, 200V, 230V  | 標準  | ●  | ●  | 
三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz)   | 標準  | ●  | ●  |